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其中包括可编程照明技术和反馈式调控机制为asmL实现了一体化光刻技术,光刻机一体化能够帮助芯片制造工艺更加稳定,进一步提升良品率。
一直以来半导体行业展的推动力来自小型化趋势,既能降低生产成本,又能提高元器件性能。
像华国未来要搞的光刻厂,力大砖飞属于毛子会选的技术路线,倒不是说这种技术不好,而是这种技术不适合过去二十年经济全球化、半导体产业高度分工的趋势。
当趋势结束,光刻机小型化变得不再重要,把东西造出来最重要。
当下还处于经济全球化的黄金时期,asmL的光刻机一体化让参展的半导体企业眼前一亮。
大家认为这是asmL时隔五年之后,对新芯光刻机在东京半导体设备展的回应。
跨越五年的回应。
随着半导体器件尺寸的缩小,工艺窗口(生产出合格芯片的工艺允许偏差)也会相应减小,使套刻精度和器件尺寸均匀性等参数变得更为严格。
asmL能做光刻机一体化,是因为欧美过去数十年积累的技术优势,在精度上能够满足光刻机一体化的要求,如果新芯能够获得供应链上下游的支持,他们同样能做到。
问题是这些企业很多都受到瓦森纳协定的限制,导致新芯在工艺制程上再度落后。
asmL应用产品部门的资深副总裁伯特说:“一直以来,芯片厂商对各个制造工艺步骤的优化都是独立进行的,然而当展至32nm的时候。
这种独立的优化模式便不再适用。我们有效地综合了计算光刻技术、晶圆光刻技术和工艺控制,提供了一个全面方案,针对量产的要求去优化工艺窗口和光刻系统设置,最终实现更小的器件尺寸。
是的,这是我们第一次反新芯光刻机和尼康,成为全球光刻机工艺的no。1。”
伯特很得意,欧美资本对asmL的支持完全可以用不遗余力来形容。
即便是在金融危机期间,先是荷兰给了asmL一笔1o亿美元的无息贷款,然后是英特尔和台积电参与了asmL的再融资。
要知道台积电可是裁员了一万人。
而asmL不仅没有裁员,反而扩充了研部门。
新芯也没闲着,同样扩大了对新芯光刻机以及上下游国产供应商的扶持,同时为了打压asmL的市场,新芯光刻机还降价了。
新芯和amsL在光刻机领域的竞争,带来的直接后果就是尼康和佳能被干得奄奄一息,asmL和新芯光刻机扩张的员工,大部分都来自尼康和佳能。
尼康别说扩张和研,他们连之前的产能都维持不住了。
要不是华盛顿盯着,尼康甚至想把光刻机业务剥离出来卖给新芯。不让我玩,我干脆不玩了。
“在芯片设计阶段,asmL的一体化光刻技术使用实际的光刻机配置和调节功能,以工艺窗口最大化为目标来创建瞄准指定工艺世代和应用的设计。
他们采用了全新的光源掩模优化技术,可以为光瞳形状带来灵活性,并提供额外设计自由度。asmL这次旧金山的布会放了很多大招,这些技术的结合,使光源掩模和照明源实现无以伦比的协同优化,帮助他们获得了最大的工艺窗口。”
林本坚神情凝重。
因为asmL提前放出消息,称他们这次会有很多新技术。所以林本坚是去参加了旧金山的电子展,他在参加完回到张江后倍感压力。
“在制造过程中,asmL他们整的这套一体化光刻技术充分利用独特的测量技术和反馈回路,可以实时监控刻蚀精度和cpu性能,使系统持续以工艺规格为中心。”
林本坚继续说。
新芯光刻机的技术专家们汇聚一堂,大家都在讨论asmL这次放的大招,可能给新芯光刻机带来的影响,以及他们要怎么追赶。
“老实说这一套我们也能搞,问题是我们需要知道,asmL在这套技术路线里,设置了哪些专利墙,如果专利墙太多,我们可能要想绕开的办法。”
新芯光刻机的某位技术专家说。
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