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第457章 震撼人心 EBL光刻机研发成功（第3页）

郝强语气温和但掩饰不住内心的喜悦，“请大家稍作休息，我很快就到。”

挂断电话后，郝强立即放下手头的工作，快步离开办公大楼。

他的脚步轻快，心中充满期待，迫不及待想要亲眼见证这个突破性的成果。

穿过繁忙的园区，郝强来到半导体实验楼。

他先是在更衣室换上了无尘服，戴好口罩和手套，确保不会带入任何污染物。

随后，他验证身份进入实验楼内部，轻轻推开eBL光刻机实验室的门，映入眼帘的是一群疲惫但兴奋的科研人员。

实验台上，摆放着一排封装好的汽车车载芯片青龙8124，每一枚都有标签备注，每一枚都有实验测试数据。

“各位，辛苦了！”

郝强走进实验室，向在场的每一位科研人员点头致意，“我先看下数据。”

陈列向董事长递上数据本子，同时介绍测试结果，实验室里充满了欢欣鼓舞的气氛。

这一刻，所有人都深深感受到他们正在参与并见证着一个重要的历史时刻。

陈列激动地介绍道：“董事长，这次测试结果证明，我国自主研的eBL光刻机已经取得了突破性进展。

其线宽稳定在14nm，分辨率和稳定性都达到了国际顶尖水平。

我们装了五台设备，初期良率都达到了8o%。”

一片12英寸3oomm晶圆大约可以切割出16o颗青龙8124芯片（车载mcu）。

青龙8124芯片的单颗面积约为15o平方毫米（长约15毫米，宽约1o毫米），一片晶圆面积约为7o65o平方毫米。

除去切割槽、边缘料角，实际只能切割出4oo颗芯片（并不是7o65o15o＝471）。

初期良率为8o%，实际合格品可能在32o颗晶圆。

一般来说，由于汽车电子对可靠性要求极高，工艺先进且结构复杂，初期良率可能只有5o%～6o%，成熟后可提升到7o%～8o%已经是非常厉害的了。

而未来科技集团的芯片良率能达到8o%，主要还是晶圆的纯度高！

当然，eBL光刻机的稳定性也是极关键的。

要是光刻机不稳定，那一颗都不合格。

郝强仔细查看了测试报告，满意地点了点头：“这个成果确实令人振奋。

不过，我们还需要进一步优化和提升，争取把良率提升到9o%，同时早日达到5nm甚至更小的线宽。

要知道，eBL光刻机可以做到1nm以下的线宽，我们的晶圆纯度也满足要求。”

“是的，董事长。

我们已经制定了下一步的研计划，相信在不久的将来，我们就能实现这个目标。“陈列自信地回答。

郝强环视了一圈实验室，看着这群为国家半导体事业奋斗的科研人员，心中充满了感激和敬意。

“各位辛苦了，你们为国家的科技进步作出了巨大贡献。

接下来，我们要加大投入，争取在更短的时间内实现更大的突破。

当然，最近一两年，大家都绷紧神经了，没有好好休息过。

这一两天先整理一下资料，我给大家放半个月假期，每一位员工最高可报销2万元的度假福利。”